ปี พ.ศ.2491 องค์การการศึกษาศิลปวัฒนธรรมสหประชาชาติ ซึ่งดำเนินโครงการช่วยเหลือพัฒนาการศึกษาของประเทศไทย เสนอรัฐบาลไทยให้จัดตั้งหน่วยศึกษานิเทศก์ (Supervisor ) ขึ้น เพื่อทำหน้าที่สนับสนุนงานด้านวิชาการของโรงเรียนโดยตรง

        ปี พ.ศ. 2495 กรมวิสามัญศึกษาจึงจัดตั้งหน่วยศึกษานิเทศก์ขึ้นเป็นครั้งแรกของประเทศตามคำแนะนำขององค์การการศึกษาศิลปวัฒนธรรมตามที่กล่าวไว้ในเบื้องต้น วัตถุประสงค์หลักของการมีหน่วยศึกษานิเทศก์คือเพื่อให้ศึกษานิเทศก์ทำหน้าที่ช่วยเหลือแนะนำและปรับปรุงการเรียนการสอนของสถานศึกษาให้มีประสิทธิภาพ ซึ่งเป็นการปรับเปลี่ยนบทบาทหน้าที่จากเดิมที่เน้นการตรวจตรา มาเป็นเน้นการช่วยเหลือเพื่อทำให้สถานศึกษาผลิตผู้เรียนที่มีคุณภาพสู่สังคม

        ปี พ.ศ. 2497 กรมสามัญศึกษาได้จัดตั้งหน่วยศึกษานิเทศก์ ขึ้นเพื่อทำหน้าที่ปรับปรุงคุณภาพการศึกษาทั้งระดับอนุบาล ประถมศึกษาตอนต้นและตอนปลาย และปฏิบัติงานด้านการศึกษาค้นคว้า อบรมแนะนำ ทำอุปกรณ์การสอน สาธิตการสอน จัดทำคู่มือครู ให้ความช่วยเหลือครูในส่วนภูมิภาค

        ปี พ.ศ. 2498 กรมต่างๆมีการจัดตั้งหน่วยศึกษานิเทศก์ประจำกรมของตนเองขึ้นได้แก่ กรมการฝึกหัดครู กรมอาชีวศึกษา กรมพลศึกษา เพื่อทำหน้าที่ดังกล่าว

        ปี พ.ศ. 2500 ประเทศไทยได้ขยายงานด้านการนิเทศการศึกษาไปทั่วราชอาณาจักร มีการตั้งศึกษานิเทศก์ฝ่ายสามัญประจำจังหวัด เพื่อทำหน้าที่ช่วยดูแล และช่วยเหลืองานด้านการศึกษาของจังหวัด

        ปี พ.ศ. 2503 จัดตั้งหน่วยศึกษานิเทศก์ประจำภาคขึ้น 12 ภาค และขยายไปอีก 73 จังหวัดทั่วประเทศโดยศึกษานิเทศก์กรมวิสามัญศึกษาดูแลโรงเรียนมัธยมศึกษาและศึกษานิเทศก์ กรมสามัญศึกษา ดูแลโรงเรียนประถมศึกษา

        ปี พ.ศ. 2509 มีการโอนโรงเรียนประถมศึกษาไปสังกัดองค์การบริหารส่วนจังหวัด แต่ศึกษานิเทศก์ไม่ได้โอนตาม แต่จัดตั้งเป็นหน่วยศึกษานิเทศก์จังหวัดขึ้น ในช่วงนี้ถือว่าเป็นวิกฤตของหน่วยศึกษานิเทศก์จังหวัด เพราะไม่มีโรงเรียนให้นิเทศ ทางองค์การบริหารส่วนจังหวัดเองก็จัดตั้งฝ่ายวิชาการขึ้นมาทำหน้าที่ดูแลงานวิชาการของโรงเรียนในสังกัดแทนงานที่ศึกษานิเทศก์เคยทำ

        ปี พ.ศ. 2510 กรมวิสามัญศึกษา ได้จัดตั้งศูนย์ฝึกอบรมครูขึ้นภายในบริเวณโรงเรียนสามเสนวิทยาลัย หน่วยศึกษานิเทศก์ กรมวิสามัญศึกษาจึงย้ายไปประจำที่ศูนย์ฝึกอบรมแห่งนี้ในปีต่อมาโดยมีศาสตราจารย์ฐะปะนีย์ นาครทรรพ เป็นหัวหน้าหน่วย

        ปี พ.ศ.2515 มีการยุบรวมกรมสามัญศึกษากับวิสามัญศึกษาเป็นกรมเดียวกันตามประกาศคณะปฏิวัติ ฉบับที่ 217 และตั้งชื่อหน่วยศึกษานิเทศก์ใหม่ว่า หน่วยศึกษานิเทศก์กรมสามัญศึกษารับผิดชอบการนิเทศโรงเรียนมัธยมศึกษาและประถมศึกษา มีการออกระเบียบกระทรวงศึกษาธิการ ว่าด้วยศึกษานิเทศก์กรมสามัญศึกษา พ.ศ.2515 ขึ้นมารองรับและปฏิบัติงานทั้งในส่วนกลาง เขตการศึกษา และจังหวัด โดยมีฐานะ เป็นกองในสังกัดกรมสามัญศึกษา

        ปี พ.ศ. 2517 ได้มีระเบียบกระทรวงศึกษาธิการ ว่าด้วยศึกษานิเทศก์ พ.ศ. 2517 กำหนดให้มีสำนักงานหน่วยศึกษานิเทศก์ ประจำเขตการศึกษาและจังหวัดขึ้น จึงทำให้มีศึกษานิเทศก์ทั้งในส่วนกลาง เขตการศึกษา และจังหวัด

        ปี พ.ศ. 2519 กระทรวงศึกษาธิการออกระเบียบการเปลี่ยนแปลงและการพัฒนาหน่วยศึกษานิเทศก์ กรมสามัญศึกษาขึ้น เพื่อให้การนิเทศสอดคล้องกับการเปลี่ยนแปลงและการพัฒนาหน่วยศึกษานิเทศก์ กรมสามัญศึกษา โดยได้กำหนดความมุ่งหมายของงานนิเทศการศึกษา หน้าที่ของศึกษานิเทศก์ การบริหารงานของหน่วยศึกษานิเทศก์ รวมทั้งได้กำหนดคุณสมบัติ และอัตรากำลังของหน่วยศึกษานิเทศก์ไว้อย่างชัดเจน ทั้งศึกษานิเทศก์กรม ศึกษานิเทศก์เขต และศึกษานิเทศก์จังหวัด

        ปี พ.ศ. 2523 มีการเปลี่ยนแปลงระบบการบริหารการศึกษาในระดับประถมศึกษา โดยโอนโรงเรียนประถมศึกษาไปรวมกันที่สำนักงานคณะกรรมการการประถมศึกษาแห่งชาติ (สปช.) ซึ่งจัดตั้งขึ้นใหม่มีฐานะเป็นกรม ในกระทรวงศึกษาธิการทำให้ศึกษานิเทศก์ที่ปฏิบัติหน้าที่ในจังหวัดต่าง ๆ ถูกเปลี่ยนสังกัดไปสังกัดสำนักงานคณะกรรมการการประถมศึกษาแห่งชาติ ในปี พ.ศ. 2524 มีระเบียบกระทรวงศึกษาธิการว่า ด้วยศึกษานิเทศก์ สังกัดสำนักงานคณะกรรมการการประถมศึกษาแห่งชาติ พ.ศ. 2524 ให้จัดแบ่งหน่วยปฏิบัติงาน ของศึกษานิเทศก์ ออกเป็น 3 หน่วย คือหน่วยศึกษานิเทศก์สำนักงานคณะกรรมการการประถมศึกษาแห่งชาติ หน่วยศึกษานิเทศก์ สำนักงานการประถมศึกษาจังหวัด และกรุงเทพมหานคร และหน่วยศึกษานิเทศก์ สำนักงานการประถมศึกษาอำเภอหรือกิ่งอำเภอ

        ปีพ.ศ.2530 กระทรวงศึกษาธิการได้ออกระเบียบ การบริหารงานศึกษานิเทศก์ กรมสามัญศึกษา ซึ่งประกอบด้วยศึกษานิเทศก์ส่วนกลาง ส่วนเขต และส่วนจังหวัด

        ปี พ.ศ. 2546 กระทรวงศึกษาธิการมีการปฏิรูปการศึกษาตามพระราชบัญญัติการศึกษาแห่งชาติ พ.ศ. 2542 ยุบรวมกรมต่าง ๆ ในกระทรวงศึกษาธิการมารวมกันยกเว้นกรมอาชีวศึกษา และกรมการศึกษานอกโรงเรียน (แต่เปลี่ยนชื่อใหม่มาเป็นสำนักงานการอาชีวศึกษาและสำนักงานการศึกษานอกระบบและตามอัธยาศัย) ศึกษานิเทศก์ทุกสังกัดย้ายมาอยู่รวมกันที่สำนักงานเขตพื้นที่การศึกษา ออกระเบียบบริหารราชการกระทรวงศึกษาธิการ พ.ศ. 2546 ปรับเปลี่ยนหน่วยศึกษานิเทศก์เป็นกลุ่มนิเทศติดตามและประเมินผลการ จัดการศึกษา มีการกำหนดมาตรฐานตำแหน่งศึกษานิเทศก์ ลักษณะงานที่ปฏิบัติชัดเจน แต่ต้องปฏิบัติงานภายใต้เงื่อนไข บริบทของสำนักงานเขตพื้นที่การศึกษา ดูแลรับผิดชอบงานนิเทศการศึกษาทั้งระดับประถมและมัธยมศึกษาภายในเขตพื้นที่การศึกษา

        ปี พ.ศ. 2553 กระทรวงศึกษาธิการได้มีประกาศลงวันที่ 17 สิงหาคม พ.ศ. 2553 เรื่องการกำหนด เขตพื้นที่การศึกษามัธยมศึกษา โดยจัดตั้งเขตพื้นที่การศึกษามัธยมศึกษาขึ้นมาใหม่แยกภารกิจที่กรมสามัญเดิม เคยบริหารจัดการอยู่ออกมาจากสำนักงานเขตพื้นที่การศึกษา และกำหนดที่ตั้งของสํานักงานเขตพื้นที่การศึกษามัธยมศึกษาขึ้น จำนวน 42 เขตพื้นที่ทั่วประเทศ มีการกำหนดให้สถานศึกษาขั้นพื้นฐานระดับมัธยมศึกษา อยู่ภายใต้สังกัด ศึกษานิเทศก์ที่แต่เดิมมาอยู่รวมกันที่สำนักงานเขตพื้นที่การศึกษา จึงได้แยกออกไปอยู่ภายใต้สังกัดสำนักงานเขตพื้นที่การศึกษามัธยมศึกษาในเขตนั้น ๆ อย่างไรก็ตามมีข้อสังเกตว่าศึกษานิเทศก์ที่แต่เดิมเคยมีสถานภาพเป็นหน่วยงานทางการศึกษา มีความเป็นอิสระทางวิชาการ คล่องตัว ในการบริหารจัดการภายในหน่วย เมื่อยุบรวมเข้ามาอยู่ภายใต้สำนักงานเขตพื้นที่การศึกษา ไม่ว่าประถมศึกษาหรือมัธยมศึกษาได้ถูกลดสถานภาพลง มีสถานภาพเป็นกลุ่มภารกิจหนึ่งในสำนักงานเขตพื้นที่การศึกษาเท่านั้น

        ปี พ.ศ. 2560 คณะรักษาความสงบเรียบร้อยแห่งชาติ มีคำสั่ง ที่ ๑๙/๒๕๖๐ ลงวันที่ ๓ เมษายน ๒๕๖๐ เรื่อง การปฏิรูปการศึกษาในภูมิภาคของกระทรวงศึกษาธิการ โดยตั้งคณะกรรมการขับเคลื่อนการปฏิรูปการศึกษาของกระทรวงศึกษาธิการในภูมิภาค พร้อมตั้งสำนักงานศึกษาธิการภาค ๑๘ ภาค และสำนักงานศึกษาธิการจังหวัด สังกัดสำนักงานปลัดกระทรวงศึกษาธิการ เพื่อปฏิบัติภารกิจของกระทรวงศึกษาธิการในระดับพื้นที่ โดยใช้บังคับตั้งแต่วันประกาศในราชกิจจานุเบกษาเป็นต้นไป ผลจากคำสั่งดังกล่าว ทำให้มีกลุ่มนิเทศติดตามและประเมินผลการจัดการศึกษาขึ้นในสำนักงานศึกษาธิการจังหวัดทุกแห่ง โดยทำหน้าที่ในการนิเทศ ติดตาม ตรวจสอบและประเมินผลการจัดการศึกษาของสถานศึกษาสังกัดกระทรวงศึกษาธิการในจังหวัด ปี พ.ศ. ๒๕๖๐ กระทรวงศึกษาธิการ มีประกาศ เรื่อง จัดตั้งหน่วยศึกษานิเทศก์ สำนักงานคณะกรรมการการศึกษาขั้นพื้นฐาน เป็นหน่วยงานการศึกษา ลงวันที่ ๒๑ มิถุนายน พ.ศ. ๒๕๖๐ เพื่อให้มีหน่วยศึกษานิเทศก์ สำนักงานคณะกรรมการการศึกษาขั้นพื้นฐาน (อักษรย่อ ศนฐ.) เป็นหน่วยงานที่รับผิดชอบงานด้านนิเทศการศึกษา ในส่วนกลาง ทำหน้าที่วางแผน พัฒนา ระบบและมาตรฐานการนิเทศในระดับปฐมวัย ประถมศึกษา มัธยมศึกษา และการศึกษาพิเศษ ส่งเสริม สนับสนุน และประสานงานการนำระบบการนิเทศไปพัฒนาคุณภาพการศึกษา ศึกษา วิเคราะห์ วิจัยรูปแบบและนวัตกรรมการนิเทศ ประสานงานกับหน่วยงานและองค์กรอื่นเพื่อบูรณาการกระบวนการนิเทศและพัฒนาการนิเทศ